◆性能特點(diǎn)：
實(shí)現(xiàn)探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。

采用三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電平移式掃描臺(tái)，實(shí)現(xiàn)大范圍高精度掃描。

三軸獨(dú)立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測(cè)。

電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺(tái)和升降臺(tái)，可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)。

龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺(tái)。

馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞?，保護(hù)探針及樣品。

高倍輔助光學(xué)顯微定位，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。

閉環(huán)壓電掃描臺(tái)無(wú)需非線性校正，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于99.5%。

 ◆測(cè)量范圍及應(yīng)用：

測(cè)量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

應(yīng)用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測(cè)試、四氧化三鐵、M13-PBA等。

◆ 應(yīng)用案例 Application Case